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質量流量控製器

簡要描述:

MFC-100 質量流量控製器主要用於對氣體的質量流量進行精密控製和測量,控製器是基於業內先進的微機電(MEMS)流量芯片技術,結合高速采樣處理技術和數字補償算法,所開發的一款智能化、高精度可進行準確的質量流量控製的氣體控製器產品,具有精度高、響應速度快、穩定性好等特點。

產品型號:MFC-100

更新時間:2022-08-09

訪問次數:33

廠商性質:生產廠家

產品簡介

       MFC-100 質量流量控製器主要用於對氣體的質量流量進行精密控製和測量, MFC-100 型質量流量控製器是基於業內先進的微機電(MEMS)流量芯片技術,結合高速 采樣處理技術和數字補償算法,所開發的一款智能化、高精度可進行準確的質量流量控製的 氣體控製器產品,具有精度高、響應速度快、穩定性好等特點。產品支持數字型和 模擬型兩種,模擬型產品采用 0~5V 模擬信號輸入輸出,數字型產品采用 RS485 通訊。

產品特點 

精度高,響應快

長期穩定性,良好的重複性

溫度壓力影響小

兼容多種信號輸出方式

 

技術參數 

參數名稱 技術指標 

量程 (0~10,20,50,100,200,500) sccm (0~1,2,5,10,20,50) SLM 

閥控類型 常閉 

準確度 ≤±1% F.S. 

重複性 <0.5% 

工作壓差 (0.1~0.4)MPa 

溫漂 <0.05%F.S./℃ 

環境溫濕度 5~40℃,0~90RH% 

耐壓 1MPa 

輸入信號 (0~5)VDC,RS485 

輸出信號 (0~5)VDC,RS485 

氣路接口 G1/4 -1/4 (SLM);G1/4 -1/8 (SCCM) 

供電電壓 DC24V 

功耗 <2.4w 

尺寸 長*寬*高:80mm*36mm*57mm 


產品應用

半導體集成電路工藝、特種材料 

化學工業、石油工業 

醫藥、環保和真空等領域 

分析檢測儀器行業

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