MFC-100 質量流量控製器主要用於對氣體的質量流量進行精密控製和測量,控製器是基於業內先進的微機電(MEMS)流量芯片技術,結合高速采樣處理技術和數字補償算法,所開發的一款智能化、高精度可進行準確的質量流量控製的氣體控製器產品,具有精度高、響應速度快、穩定性好等特點。
產品型號:MFC-100
更新時間:2022-08-09
訪問次數:33
廠商性質:生產廠家
產品簡介
MFC-100 質量流量控製器主要用於對氣體的質量流量進行精密控製和測量, MFC-100 型質量流量控製器是基於業內先進的微機電(MEMS)流量芯片技術,結合高速 采樣處理技術和數字補償算法,所開發的一款智能化、高精度可進行準確的質量流量控製的 氣體控製器產品,具有精度高、響應速度快、穩定性好等特點。產品支持數字型和 模擬型兩種,模擬型產品采用 0~5V 模擬信號輸入輸出,數字型產品采用 RS485 通訊。
產品特點
精度高,響應快
長期穩定性,良好的重複性
溫度壓力影響小
兼容多種信號輸出方式
技術參數
參數名稱 技術指標
量程 (0~10,20,50,100,200,500) sccm (0~1,2,5,10,20,50) SLM
閥控類型 常閉
準確度 ≤±1% F.S.
重複性 <0.5%
工作壓差 (0.1~0.4)MPa
溫漂 <0.05%F.S./℃
環境溫濕度 5~40℃,0~90RH%
耐壓 1MPa
輸入信號 (0~5)VDC,RS485
輸出信號 (0~5)VDC,RS485
氣路接口 G1/4 -1/4 (SLM);G1/4 -1/8 (SCCM)
供電電壓 DC24V
功耗 <2.4w
尺寸 長*寬*高:80mm*36mm*57mm
產品應用
半導體集成電路工藝、特種材料
化學工業、石油工業
醫藥、環保和真空等領域
分析檢測儀器行業